切記！定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率
在半導(dǎo)體制造工藝中，高純氫氣是退火、外延、化學(xué)氣相沉積（CVD）等關(guān)鍵環(huán)節(jié)重要的保護(hù)氣與反應(yīng)氣。半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器憑借現(xiàn)場制氫、純度高（≥99.9999%）、無鋼瓶風(fēng)險(xiǎn)等優(yōu)勢，成為晶圓廠潔凈室中的設(shè)備。然而，其核心部件對水質(zhì)、溫度與運(yùn)行狀態(tài)敏感，只有通過科學(xué)、系統(tǒng)的定期維護(hù)
半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器，才能確保氫氣持續(xù)穩(wěn)定、潔凈輸出，保障產(chǎn)線安全與良率。
一、每日巡檢
檢查面板顯示：確認(rèn)產(chǎn)氫壓力、流量、純度（露點(diǎn)≤-70℃）、電解槽溫度等參數(shù)在正常范圍；
聽運(yùn)行聲音：異常嘯叫或震動可能預(yù)示泵或風(fēng)扇故障；
查看報(bào)警記錄：及時處理水質(zhì)異常、壓力波動等預(yù)警信息；
確認(rèn)排水/排氮電磁閥動作正常，防止積水或氮?dú)鈿埩簟?/div>
二、每周維護(hù)
純水系統(tǒng)檢查：核實(shí)進(jìn)水電導(dǎo)率≤1μS/cm，檢查純水箱液位與管路無泄漏；
干燥系統(tǒng)維護(hù)：若采用分子篩或鈀膜純化，檢查再生周期是否正常，記錄壓差變化；
外部清潔：用無塵布擦拭外殼與散熱口，防止?jié)崈羰翌w粒污染內(nèi)部電路。
三、每月保養(yǎng)
電解槽狀態(tài)評估：檢查電解液（若為堿液型）濃度與液位，或質(zhì)子交換膜（PEM型）電壓效率；
過濾器更換：更換進(jìn)水預(yù)過濾器、氫氣出口顆粒過濾器（0.01μm）及除油過濾器；
氣密性測試：使用氫氣檢測儀或皂液法檢查管路、接頭、閥門有無微泄漏，確保符合SEMI安全標(biāo)準(zhǔn)。
四、每季度維護(hù)
純度驗(yàn)證：使用第三方便攜式氫氣純度/露點(diǎn)儀比對內(nèi)置傳感器數(shù)據(jù)；
安全聯(lián)鎖測試：模擬氫氣泄漏、超壓、斷水等故障，驗(yàn)證自動停機(jī)與報(bào)警功能；
PLC/控制系統(tǒng)備份：更新運(yùn)行日志，備份控制程序，防止數(shù)據(jù)丟失。
