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金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的規(guī)范定期維護(hù)保養(yǎng)方法分享
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金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的規(guī)范定期維護(hù)保養(yǎng)方法分享

在微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)法制備高質(zhì)量單晶或納米金剛石過(guò)程中,高純氫氣(≥99.9999%)不僅是等離子體激發(fā)的載氣,更是碳源裂解與金剛石生長(zhǎng)的關(guān)鍵反應(yīng)介質(zhì)。金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的穩(wěn)定性直接決定薄膜純度、生長(zhǎng)速率與設(shè)備安全。科學(xué)規(guī)范的定期維護(hù)金剛石MPCVD氫...

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