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切記!定期維護半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率
更新時間:2025-11-4熱點推薦
切記!定期維護半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率

在半導(dǎo)體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學(xué)氣相沉積(CVD)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)重要的保護氣與反應(yīng)氣。半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器憑借現(xiàn)場制氫、純度高(≥99.9999%)、無鋼瓶風(fēng)險等優(yōu)勢,成為晶圓廠潔凈室中的設(shè)備。然而,其核心部件對水質(zhì)、溫度與運行狀態(tài)敏感,只有通過科學(xué)、系統(tǒng)的定期維護半導(dǎo)...

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  • 2017-7

    18

    氫氣發(fā)生器:純水電解與堿液電解,哪種更高效?

    氫氣發(fā)生器產(chǎn)出的氫氣有兩種不同的來源:1.純水電解制氫:這種方法是利用電解水來產(chǎn)生氫氣。首先,將滿足要求的電解水送入電解槽陽極室,通電后水便在陽極分解。分解成的負氧離子(O-2)隨即在陽極放出電子,形成氧氣(O2)。氫質(zhì)子以水合離子(H+?XH2O)的形式,在電場力的作用下,通過SPE離子膜,到達陰極吸收電子形成氫氣。最后,含微量水份的氫氣再經(jīng)干燥器吸濕后,純度便達到99.999%以上。2.堿液電解制氫:這種方法是利用堿液電解法來產(chǎn)生氫氣。電解槽內(nèi)的導(dǎo)電介質(zhì)為氫氧化鉀水溶液,...

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  • 2017-7

    11

    高純氫氣發(fā)生器|高純氫氣發(fā)生器常見故障解析

    高純氫氣發(fā)生器采用SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù),無需用堿,直接電解純水有效的保護色譜柱;儀器內(nèi)部采用英國Peculiar硅橡膠圈(含硫量低),有效提高氣體質(zhì)量,保證GC基線平穩(wěn),除此之外,發(fā)生器還采用英國Peculiar研發(fā)離子膜技術(shù);采用滲透膜技術(shù)和變壓吸附脫水技術(shù),以產(chǎn)生純度為99.9999%的氫氣,確保結(jié)果的重現(xiàn)性,壓力及流量均采用一體化微電腦的控制,可滿足任何型號任何廠商生產(chǎn)的GC的使用。高純氫氣發(fā)生器主要由電解系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)組成。電解氫采用目前的膜分...

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  • 2017-7

    11

    金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器使用注意事項

    金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器主要由電解系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)組成。電解氫采用目前的膜分離技術(shù),可使氫氣的發(fā)生量根據(jù)輸出的需要自動調(diào)整,維持輸出流量和壓力的穩(wěn)定。金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器程序控制采用了高靈敏度、模糊控制自動跟蹤系統(tǒng),取消了穩(wěn)壓閥,實現(xiàn)了自動恒壓、恒流、使壓力穩(wěn)定精度范圍小于0.001MPa并可根據(jù)色譜儀所需氫氣用量的大小實現(xiàn)0—1000ml/min全自動調(diào)節(jié),當用戶停止用氣時,儀器自動停止產(chǎn)氫,因此杜絕了系統(tǒng)超壓的現(xiàn)象。以保證安全。金剛石MPCV...

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  • 2017-6

    27

    高純氫氣發(fā)生器自檢與維護全攻略!

    為了確保高純氫氣發(fā)生器運行的穩(wěn)定性并減少維修次數(shù),操作人員應(yīng)掌握設(shè)備的自檢方法。具體步驟如下:1.接通電源,打開電源開關(guān)。此時,儀器的壓力表開始上升。檢查儀器面板上的電解指示是否亮起,流量指示是否在1000左右。在5分鐘內(nèi),壓力指示應(yīng)達到0.4MPa,指針指示降至“0”,這表明儀器系統(tǒng)正常工作,自檢合格。2.如果5分鐘后流量指示仍然在“1000”,壓力指示在“0”,說明開關(guān)沒有旋緊,存在漏氣現(xiàn)象。請繼續(xù)旋緊開關(guān),使儀器的壓力和流量達到合格標準。3.使用過程中應(yīng)注意流量指示是否...

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  • 2017-6

    15

    高壓氫氣發(fā)生器的應(yīng)用及優(yōu)勢

    高壓氫氣發(fā)生器在實驗室中扮演著至關(guān)重要的角色,其通過電解水或其他特定液體,高效地將水資源轉(zhuǎn)化為高純度的氫氣,為眾多科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)提供了強大的能源支持。以下是對高壓氫氣發(fā)生器在實驗室中多樣應(yīng)用的深入闡述,旨在展現(xiàn)其在推動科技進步中的價值。一、能源科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用氫氣作為已知的最高能密度燃料之一,其燃燒產(chǎn)物僅為水,無污染、可再生,是探索未來清潔能源體系的關(guān)鍵元素。在實驗室中,高壓氫氣發(fā)生器能夠為燃料電池、內(nèi)燃機性能測試等實驗提供純凈、持續(xù)的氫氣供應(yīng)。這種穩(wěn)定的氫氣供應(yīng)助力科研人...

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  • 2017-6

    14

    高純氫氣發(fā)生器使用指南

    高純氫氣發(fā)生器是由電解分離池HGH-300E(500E)氫氣發(fā)生器、開關(guān)電源、壓力控制、超壓斷電保護、干燥凈化、HGH-300E(500E)氫氣發(fā)生器流量顯示等系統(tǒng)組成。HGH-300E(500E)氫氣發(fā)生器本儀器的“心臟”電解分離池為桶式結(jié)構(gòu)。儲液、制氫、排氧可同時進行,其電解面積大、池溫低、性能好、純度更高之優(yōu)點,是板式電解池的較好換代品。高純氫氣發(fā)生器設(shè)有不返液裝置,可有效的確保儀器無返液現(xiàn)象。高純氫氣發(fā)生器使用指南:1、打開包裝箱,取出儀器,檢查儀器外觀,核對裝箱單。...

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  • 2017-6

    12

    進口氫氣發(fā)生器技術(shù)優(yōu)勢及發(fā)展趨勢

    隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,氫氣作為一種清潔、高效的能源,越來越受到人們的關(guān)注。在氫氣的應(yīng)用領(lǐng)域,氫氣發(fā)生器作為產(chǎn)生高純度氫氣的關(guān)鍵設(shè)備,其性能和質(zhì)量直接影響到氫氣的應(yīng)用效果。近年來,進口產(chǎn)品在市場上逐漸占據(jù)了一定的份額,其優(yōu)勢和發(fā)展趨勢值得我們關(guān)注。一、優(yōu)勢1.技術(shù)先進:進口產(chǎn)品采用國際先進的技術(shù)和工藝,具有更高的電解效率和更好的氫氣純度。相比國內(nèi)同類產(chǎn)品,進口產(chǎn)品在電解池設(shè)計、電極材料、電源控制等方面具有明顯優(yōu)勢。2.品質(zhì)可靠:進口產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中嚴格遵循國際標準和質(zhì)量管理體...

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  • 2017-6

    9

    進口氫氣發(fā)生器產(chǎn)品特點及使用須知

    進口氫氣發(fā)生器是一種用于產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備。它采用自行研發(fā)的改進型SPE電解膜,不需要加堿來電解純水,使得實驗室更加安全,并且具有更高的電解效率和更可靠的質(zhì)量。該設(shè)備由多個部件組成,包括電解池、純水箱、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、壓力調(diào)節(jié)閥和開關(guān)電源等。進口氫氣發(fā)生器具有以下特點:1.操作簡單,只需啟動電源開關(guān)即可產(chǎn)氣,輸出壓力穩(wěn)定,流量通過LED數(shù)碼液晶屏顯示,直觀醒目。2.日常使用只需補充蒸餾水,可以連續(xù)使用或間斷使用。3.儲液、電解制氫和排氧一體化設(shè)計,池溫...

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