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切記!定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率
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切記!定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率

在半導(dǎo)體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學(xué)氣相沉積(CVD)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)重要的保護(hù)氣與反應(yīng)氣。半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器憑借現(xiàn)場(chǎng)制氫、純度高(≥99.9999%)、無(wú)鋼瓶風(fēng)險(xiǎn)等優(yōu)勢(shì),成為晶圓廠潔凈室中的設(shè)備。然而,其核心部件對(duì)水質(zhì)、溫度與運(yùn)行狀態(tài)敏感,只有通過(guò)科學(xué)、系統(tǒng)的定期維護(hù)半導(dǎo)...

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  • 2023-8

    23

    杭州/南京高壓氫氣發(fā)生器|產(chǎn)品推薦

    普拉勒高壓氫氣發(fā)生器是一種用于生產(chǎn)高壓氫氣的設(shè)備,其核心功能在于通過(guò)水電解或化學(xué)反應(yīng)等方式生成高純度的氫氣,并將其壓縮至較高的壓力水平以便儲(chǔ)存和使用。基本原理普拉勒高壓氫氣發(fā)生器的工作原理基于水電解技術(shù)。具體來(lái)說(shuō):1.水電解過(guò)程:通過(guò)向水中通入電流,水分解為氫氣(H?)和氧氣(O?)。這一過(guò)程通常使用鉑或銥等催化劑以提高效率。2.高壓壓縮:生成的氫氣隨后被壓縮至高壓狀態(tài)(通??蛇_(dá)數(shù)百巴),以便于儲(chǔ)存和運(yùn)輸。主要組成部分1.電解池:這是核心部件,負(fù)責(zé)將水分解為氫氣和氧氣。2.壓...

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  • 2023-8

    11

    高壓氫氣發(fā)生器9種常見故障解決方案

    高壓氫氣發(fā)生器在使用過(guò)程中可能會(huì)遇到多種故障,以下是一些常見故障的解決方法:一、設(shè)備無(wú)法啟動(dòng)可能原因:1.電路沒有接通。2.氫氣開關(guān)電源損壞。3.在壓力為0空載運(yùn)行時(shí)電解池?zé)龎?。解決方法:1.檢查電路是否接通,確保電源正常。2.使用萬(wàn)用表測(cè)量電解池的電壓,若不在正常范圍(如2.3V左右),則更換損壞的氫氣開關(guān)電源或電解池。二、開機(jī)后不產(chǎn)氫可能原因:1.未注入純水或電解液不足/變質(zhì)。2.儀器保險(xiǎn)管燒毀或供電電源斷路。3.開關(guān)電源或光耦控制器停止工作。解決方法:1.即時(shí)關(guān)閉電源,...

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  • 2023-7

    25

    半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器常見故障解決方法

    半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器是半導(dǎo)體制造過(guò)程中常用的設(shè)備之一,它能夠產(chǎn)生高純度的氫氣,用于半導(dǎo)體材料的生長(zhǎng)和其他工藝步驟。然而,由于長(zhǎng)時(shí)間使用或其他原因,這些半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器可能會(huì)出現(xiàn)一些故障。下面是一些常見的故障及其解決方法。1、氫氣產(chǎn)量下降:如果產(chǎn)生的氫氣量減少,首先需要檢查供氫源是否充足。確保供應(yīng)管道暢通,沒有任何堵塞或泄漏。其次,檢查內(nèi)部的催化劑是否需要更換。如果催化劑已經(jīng)使用了很長(zhǎng)時(shí)間,可能需要更換新的催化劑。檢查是否存在其他機(jī)械故障或電路問(wèn)題,需要及時(shí)修復(fù)或更換受損部...

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  • 2023-7

    19

    注意了!選購(gòu)高壓氫氣發(fā)生器時(shí)要考慮這幾方面

    高壓氫氣發(fā)生器是一種能夠產(chǎn)生高壓氫氣的設(shè)備,采用先進(jìn)的技術(shù)和工藝,通過(guò)電解水或其他化學(xué)反應(yīng)的方式,將水分解成氫氣和氧氣。隨后,通過(guò)壓縮和儲(chǔ)存裝置,將產(chǎn)生的氫氣壓縮到高壓狀態(tài),以便在需要時(shí)供應(yīng)給相關(guān)設(shè)備或系統(tǒng)。選購(gòu)高壓氫氣發(fā)生器時(shí)需要注意以下幾個(gè)方面:1、安全性:安全性是主要考慮的因素。確保選擇具有可靠的安全保護(hù)裝置和系統(tǒng)的設(shè)備。例如,設(shè)備應(yīng)該具備過(guò)壓保護(hù)、過(guò)流保護(hù)、過(guò)溫保護(hù)等功能,以防止意外事故的發(fā)生。2、壓力范圍:根據(jù)使用需求選擇適當(dāng)?shù)膲毫Ψ秶2煌膽?yīng)用場(chǎng)景對(duì)氫氣的壓力要...

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  • 2023-7

    5

    金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器技術(shù)優(yōu)勢(shì)

    金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的技術(shù)優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在高效率、高純度、安全性、自動(dòng)化控制、節(jié)能環(huán)保等方面。下面將詳細(xì)分析金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器的技術(shù)優(yōu)勢(shì):1.高效率-快速響應(yīng):金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器能夠在短時(shí)間內(nèi)啟動(dòng)并達(dá)到穩(wěn)定輸出,滿足MPCVD工藝對(duì)氫氣供應(yīng)的即時(shí)需求。-連續(xù)穩(wěn)定供氣:該設(shè)備能夠持續(xù)不斷地提供氫氣,確保MPCVD過(guò)程中氣體流量和壓力的穩(wěn)定性,從而提高生產(chǎn)效率。2.高純度-純凈氫氣:通過(guò)先進(jìn)的電解或催化重整技術(shù),金剛石MPCVD氫氣發(fā)生器能夠產(chǎn)生高純度的氫氣,...

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  • 2023-6

    2

    正確的維護(hù)保養(yǎng)能使高壓氫氣發(fā)生器保持良好工作狀態(tài)

    高壓氫氣發(fā)生器是一種用于產(chǎn)生高純度氫氣并在實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)生產(chǎn)中使用的設(shè)備。為了保持其良好的工作狀態(tài)和延長(zhǎng)其使用壽命,需要定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。以下是高壓氫氣發(fā)生器的維護(hù)保養(yǎng)方法。一、定期清潔1.外部清潔:定期擦拭其外殼和表面,以確保其干凈整潔,去除沉積物和污垢。2.內(nèi)部清潔:定期清洗氮輔助加溫裝置和化學(xué)反應(yīng)槽等零部件,以去除殘留物,并確保氫氣生成過(guò)程中的衛(wèi)生性。二、密封件檢查設(shè)備密封件和管道的連接件容易磨損或老化導(dǎo)致漏電或泄露危害,因此需要經(jīng)常檢查及時(shí)替換。三、定期更換吸氣過(guò)濾器...

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  • 2023-5

    24

    CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器|技術(shù)科普

    CVD是一種通過(guò)氣態(tài)反應(yīng)物質(zhì)在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而沉積形成固態(tài)薄膜的工藝。這一過(guò)程涉及復(fù)雜的反應(yīng)機(jī)理,包括反應(yīng)物的激活、在基片表面的化學(xué)反應(yīng)、薄膜的生長(zhǎng)以及附著結(jié)晶等步驟。在實(shí)際操作中,需要精確控制反應(yīng)氣體的組成、流速、溫度和壓力等參數(shù),以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜材料成分、結(jié)構(gòu)和性能的精準(zhǔn)調(diào)控。MOCVD則是CVD技術(shù)的進(jìn)階版本,主要用于生長(zhǎng)復(fù)雜化合物薄膜,如半導(dǎo)體材料、光電材料等。其特別之處在于使用金屬有機(jī)前驅(qū)物(通常為金屬有機(jī)化合物)和載氣(如氫氣、氮?dú)?,在高溫環(huán)境下,金屬有機(jī)...

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  • 2023-4

    21

    一文與您分享零級(jí)空氣發(fā)生器的常見故障解決方法

    零級(jí)空氣發(fā)生器是一種高效的離子發(fā)生設(shè)備,能夠?yàn)閷?shí)驗(yàn)室科研提供干凈純凈的空氣,但在長(zhǎng)時(shí)間使用過(guò)程中也可能會(huì)遇到各種故障問(wèn)題。本文將列出幾種常見的故障情況和對(duì)應(yīng)的解決方法。情況一:無(wú)法啟動(dòng)如果不按照正確的步驟操作,則可能無(wú)法正常啟動(dòng)。首先,要確保電源插座已連接上電源線,并檢查開關(guān)是否處于打開狀態(tài)。其次,需要檢查設(shè)備內(nèi)部是否進(jìn)行了充分的清潔或維修。在這種情況下可以嘗試通過(guò)對(duì)電源線或其他設(shè)備制定特定計(jì)劃來(lái)克服問(wèn)題。情況二:產(chǎn)生的氣體質(zhì)量不優(yōu)氣體質(zhì)量的滯后處理通常是由設(shè)備殘留物或設(shè)備成...

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